Picosun等离子体增强原子层沉积系统

Picosun等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统 PICO**SMA

Picosun公司新型PICO**SMA™等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统是基于先进的自由离子远程等离子源设计的，其性能已经得到内的诸多**研究团队的肯定。多种激发源（如氧、氢和氮等）配置能够较大化拓展ALD的工艺范围，尤其是低温沉积金属和金属氮化物薄膜。由于远程等离子源所产生的等离子体束流中离子的含量低，因此即使是较敏感的衬底，也不会出现等离子损伤，而等离子束流中含有高浓度的活性粒子，保证很快的生长速度。
PICO**SMA™源系统既可以安装在现有的PICOSUNTM ALD反应器上，也可以将整个PEALD组装为一个整体。它具有占地面积小、易维护和低运行成本等优点。通过预真空系统，PICO**SMA™集成在PICO**TFORM™集群系统中后可实现自动化操作。

PICO**SMA™ 远程等离子体系统技术参数
· 对衬底无等离子损伤
· 导电材料不会产生短路现象
· 无前驱源背扩散→ 等离子发生器无薄膜形成
· 等离子体点火期间无压力振荡→ 无颗粒形成
· 等离子体源与衬底之间无闸门阀→ 无颗粒形成
· 等离子体源材料无刻蚀→ 金属和氧化物薄膜低杂质
· 简单和快速服务并通过维护舱口改变腔室
· 无硬件修改使热ALD和等离子ALD工艺在同一沉积腔室中进行成为可能

应用领域
部分PEALD材料的薄膜均匀性的例子，采用PICOSUN™设备沉积。晶圆尺寸150/200 mm(6/8”)
材料	非均匀性(1σ)
AI2O3 	0.50%
AlN	0.62%
In2O3	0.87%
SiO2 (low-T)	1.10%
SiN (low-T)	1.58%
TiN	2.16%
ZnO	2.64%
TiAlN	2.87%